曝光装置以及曝光方法和布线基板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610107848.X

申请日：

2006-07-26

公开(公告)号：

CN1904741A

公开(公告)日：

2007-01-31

发明(设计)人：

山口欣秀岸雅一

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2100

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司

代理人：

许静

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2007-01-31	公开	公开
2008-07-23	实质审查的生效	实质审查的生效
2016-09-21	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101679169807 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL200610107848X 申请日:20060726 授权公告日:20101215 终止日期:20150726
2014-05-14	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101700881443 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL200610107848X 变更事项:专利权人变更前:日立比亚机械股份有限公司变更后:维亚机械株式会社变更事项:地址变更前:日本神奈川县变更后:日本神奈川县
2010-12-15	授权	授权

共 50 条

[1]

曝光装置、曝光方法以及基板的制造方法 [P].

伊达宽一 .

日本专利 :CN114077165B ,2025-07-25

[2]

曝光装置以及曝光方法 [P].

大塚明 .

中国专利 :CN107430353A ,2017-12-01

[3]

曝光装置用曝光头、曝光装置以及曝光方法 [P].

奥山隆志 .

日本专利 :CN118689042A ,2024-09-24

[4]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN102360167B ,2012-02-22

[5]

曝光方法和曝光装置、以及器件制造方法 [P].

白石健一 ;

星加隆一 ;

藤原朋春 .

中国专利 :CN101099224A ,2008-01-02

[6]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN101510059B ,2009-08-19

[7]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

长坂博之 ;

马込伸贵 .

中国专利 :CN1723539B ,2006-01-18

[8]

曝光装置和曝光方法以及器件制造方法 [P].

安田雅彦 ;

正田隆博 ;

金谷有步 ;

长山匡 ;

白石健一 .

中国专利 :CN1864244A ,2006-11-15

[9]

曝光装置、曝光方法以及显示用面板基板的制造方法 [P].

根本亮二 .

中国专利 :CN101807006A ,2010-08-18

[10]

曝光装置、曝光方法以及显示用面板基板的制造方法 [P].

手冢秀和 ;

林知明 ;

吉田稔 .

中国专利 :CN102540755A ,2012-07-04

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