基于F-P板正弦相位调制的高精度角位移测量装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN03209960.6
申请日
2003-08-22
公开(公告)号
CN2655175Y
公开(公告)日
2004-11-10
发明(设计)人
张彩妮 王向朝
申请人
申请人地址
201800上海市800-211邮政信箱
IPC主分类号
G01B1126
IPC分类号
G01B902 H01S500 H01L3300
代理机构
上海新天专利代理有限公司
代理人
张泽纯
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
高精度单F-P板角位移测量仪 [P]. 
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[2]
高精度双F-P角位移测量仪 [P]. 
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[3]
高精度角位移测量装置 [P]. 
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[4]
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一种基于三F-P标准具的高精度波长测量装置 [P]. 
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