共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
一种半导体基材的表面处理方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201810249734.1
申请日：
2018-03-26
公开(公告)号：
CN110359017A
公开(公告)日：
2019-10-22
发明(设计)人：
郎鑫涛
申请人：
申请人地址：
523087 广东省东莞市南城区宏远工业区
IPC主分类号：
C23C1432
IPC分类号：
C23C1406
C23C1402
C23C1628
C23C2804
代理机构：
广州三环专利商标代理有限公司 44202
代理人：
郝传鑫
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-03-19 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/32 申请日:20180326 |
| 2019-10-22 | 公开 | 公开 |