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光掩模坯料
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN95191612.2
申请日：
1995-02-10
公开(公告)号：
CN1122876C
公开(公告)日：
1997-03-12
发明(设计)人：
H·U·阿尔培
R·H·弗伦奇
F·D·卡尔克
申请人：
申请人地址：
美国得克萨斯州
IPC主分类号：
G03F114
IPC分类号：
代理机构：
中国专利代理(香港)有限公司
代理人：
董巍;傅康
法律状态：
著录项目变更
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 1998-08-12 | 著录项目变更 | 著录项目变更 变更事项:发明人 变更前:纳幕尔杜邦公司 变更后:杜邦光掩公司 |
| 1997-03-12 | 公开 | 公开 |
| 2003-11-19 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 | 专利申请权、专利权的转移专利权的转移 变更事项:专利权人 变更前权利人:杜邦光掩公司 变更后权利人:肖特石版印刷技术股份公司 变更事项:地址 变更前权利人:美国得克萨斯州 变更后权利人:联邦德国耶拿 登记生效日:20031010 |
| 2003-10-01 | 授权 | 授权 |
| 2011-04-20 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101063889591 IPC(主分类):G03F 1/14 专利号:ZL951916122 申请日:19950210 授权公告日:20031001 终止日期:20100210 |
| 1998-08-12 | 著录项目变更 | 著录项目变更 变更事项:地址 变更前:美国特拉华州 变更后:美国得克萨斯州 |
| 1997-03-26 | 实质审查请求的生效 | 实质审查请求的生效 |