一种用于光刻胶成膜的光刻胶加热控制系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200610118045.4

申请日：

2006-11-08

公开(公告)号：

CN101178542A

公开(公告)日：

2008-05-14

发明(设计)人：

陈福成黄玮王雷

申请人：

申请人地址：

201206上海市浦东新区川桥路1188号

IPC主分类号：

G03F716

IPC分类号：

G03F738

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司

代理人：

丁纪铁;李隽松

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-08-11	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003937261 IPC(主分类):G03F 7/16 专利申请号:2006101180454 公开日:20080514
2008-05-14	公开	公开

共 50 条

[1]

饶夙缔 ;

陈孝贤 .

中国专利 :CN110174819B ,2019-08-27

[2]

一种光刻胶出胶量控制系统 [P].

张章龙 ;

吴明 ;

罗富铭 ;

李健 ;

唐彬杰 ;

吴子恺 ;

王嘉炜 .

中国专利 :CN217222214U ,2022-08-19

[3]

光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法 [P].

徐宏 ;

何向明 ;

刘天棋 .

中国专利 :CN115903376B ,2025-01-14

[4]

光刻胶涂布系统 [P].

黄良志 ;

周瑶亮 .

中国专利 :CN101122746A ,2008-02-13

[5]

光刻胶成膜树脂及其光刻胶组合物的制备方法 [P].

李永斌 ;

何龙龙 .

中国专利 :CN112679653B ,2021-04-20

[6]

光刻胶去除方法以及光刻胶去除系统 [P].

赵仲平 ;

张文龙 ;

戴茂春 ;

淮赛男 ;

周宇 .

中国专利 :CN113721430B ,2021-11-30

[7]

光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN114054287A ,2022-02-18

[8]

光刻胶涂布系统以及更换光刻胶的方法 [P].

金在植 ;

张成根 ;

林锺吉 ;

贺晓彬 ;

刘金彪 ;

杨涛 ;

李俊峰 ;

王文武 .

中国专利 :CN111897187A ,2020-11-06

[9]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN104730866A ,2015-06-24

[10]

光刻胶喷嘴器件和光刻胶供应系统 [P].

曾国书 ;

陈有峰 ;

陈彦羽 .

中国专利 :CN113917787A ,2022-01-11

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