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一种光刻胶出胶量控制系统
被引:0
申请号
:
CN202220851180.4
申请日
:
2022-04-13
公开(公告)号
:
CN217222214U
公开(公告)日
:
2022-08-19
发明(设计)人
:
张章龙
吴明
罗富铭
李健
唐彬杰
吴子恺
王嘉炜
申请人
:
申请人地址
:
312000 浙江省绍兴市临江路500号
IPC主分类号
:
B05C1110
IPC分类号
:
代理机构
:
重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213
代理人
:
刘裕
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2022-08-19
授权
授权
共 50 条
[1]
一种用于光刻胶成膜的光刻胶加热控制系统
[P].
陈福成
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陈福成
;
黄玮
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黄玮
;
王雷
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王雷
.
中国专利
:CN101178542A
,2008-05-14
[2]
一种光刻胶自动换胶系统
[P].
陈真
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陈真
;
梁新夫
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梁新夫
;
方建
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方建
;
吴明
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吴明
.
中国专利
:CN217239411U
,2022-08-19
[3]
一种光刻胶输送装置
[P].
林高弘
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机构:
苏州明扬半导体材料有限公司
苏州明扬半导体材料有限公司
林高弘
.
中国专利
:CN221686814U
,2024-09-10
[4]
一种甲油胶出胶量控制系统
[P].
张涛
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张涛
.
中国专利
:CN210333074U
,2020-04-17
[5]
一种光刻胶供给系统
[P].
曹广亚
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机构:
江苏卓胜微电子股份有限公司
江苏卓胜微电子股份有限公司
曹广亚
.
中国专利
:CN222117826U
,2024-12-06
[6]
光刻胶摇胶机
[P].
尹兴明
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机构:
南京科利德光电材料有限公司
南京科利德光电材料有限公司
尹兴明
.
中国专利
:CN222943344U
,2025-06-06
[7]
一种光刻胶供给装置和光刻胶涂布系统
[P].
杜景龙
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杜景龙
;
杨辉
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杨辉
;
承小辉
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承小辉
;
路朝华
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路朝华
.
中国专利
:CN205334053U
,2016-06-22
[8]
光刻胶回吸装置、光刻胶涂布设备及光刻胶涂布方法
[P].
金在植
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金在植
;
张成根
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张成根
;
林锺吉
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林锺吉
;
贺晓彬
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贺晓彬
;
杨涛
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杨涛
;
李俊峰
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李俊峰
;
王文武
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王文武
.
中国专利
:CN114054287A
,2022-02-18
[9]
光刻胶供应装置和光刻胶供应系统
[P].
徐阳
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徐阳
;
余坚
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余坚
;
纪开勋
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纪开勋
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杜龙
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杜龙
;
李晨
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李晨
.
中国专利
:CN217767184U
,2022-11-08
[10]
光刻胶打胶系统及打胶方法
[P].
李国强
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机构:
广州市艾佛光通科技有限公司
广州市艾佛光通科技有限公司
李国强
;
衣新燕
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机构:
广州市艾佛光通科技有限公司
广州市艾佛光通科技有限公司
衣新燕
;
李明
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机构:
广州市艾佛光通科技有限公司
广州市艾佛光通科技有限公司
李明
.
中国专利
:CN117891133A
,2024-04-16
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