等离子体掺杂装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN03160202.9

申请日：

2003-09-27

公开(公告)号：

CN100373549C

公开(公告)日：

2005-02-09

发明(设计)人：

奥村智洋中山一郎水野文二

申请人：

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

H01L21223

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

刘晓峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-03-05	授权	授权
2020-09-15	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/223 申请日:20030927 授权公告日:20080305 终止日期:20190927
2005-02-09	公开	公开
2005-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

等离子体掺杂方法及等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100364054C ,2004-05-19

[2]

等离子体掺杂装置及等离子体掺杂方法 [P].

田中胜 ;

栗山仁 ;

室冈博树 .

中国专利 :CN102339737B ,2012-02-01

[3]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090071A ,2007-12-19

[4]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100514563C ,2007-12-12

[5]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090069A ,2007-12-19

[6]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101276748B ,2008-10-01

[7]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100479101C ,2007-12-26

[8]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100543937C ,2007-12-19

[9]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101286448A ,2008-10-15

[10]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100511591C ,2007-12-19

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