等离子体掺杂装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710127005.0

申请日：

2003-09-30

公开(公告)号：

CN101276748B

公开(公告)日：

2008-10-01

发明(设计)人：

奥村智洋中山一郎水野文二佐佐木雄一朗

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府门真市

IPC主分类号：

H01L21223

IPC分类号：

H01J3732 H05H146

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司 31100

代理人：

沙永生

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101588949648 IPC(主分类):H01L 21/223 专利号:ZL2007101270050 申请日:20030930 授权公告日:20101229 终止日期:20130930
2008-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-12-29	授权	授权
2008-10-01	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100479101C ,2007-12-26

[2]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101286448A ,2008-10-15

[3]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100543937C ,2007-12-19

[4]

等离子体掺杂方法及等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100364054C ,2004-05-19

[5]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100511591C ,2007-12-19

[6]

等离子体掺杂方法以及装置 [P].

奥村智洋 ;

佐佐木雄一朗 ;

冈下胜己 ;

伊藤裕之 ;

水野文二 .

中国专利 :CN101356625A ,2009-01-28

[7]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090071A ,2007-12-19

[8]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100514563C ,2007-12-12

[9]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090069A ,2007-12-19

[10]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 .

中国专利 :CN100373549C ,2005-02-09

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