等离子体掺杂方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710111998.2

申请日：

2003-09-30

公开(公告)号：

CN100543937C

公开(公告)日：

2007-12-19

发明(设计)人：

奥村智洋中山一郎水野文二佐佐木雄一朗

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府门真市

IPC主分类号：

H01L21223

IPC分类号：

H01J3732 H05H146

代理机构：

上海专利商标事务所有限公司

代理人：

沙永生

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-09-23	授权	授权
2008-02-13	实质审查的生效	实质审查的生效
2015-11-18	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101633314080 IPC(主分类):H01L 21/223 专利号:ZL2007101119982 申请日:20030930 授权公告日:20090923 终止日期:20140930
2007-12-19	公开	公开

共 50 条

[1]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101286448A ,2008-10-15

[2]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101276748B ,2008-10-01

[3]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100479101C ,2007-12-26

[4]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090071A ,2007-12-19

[5]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100511591C ,2007-12-19

[6]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100514563C ,2007-12-12

[7]

等离子体掺杂方法 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN101090069A ,2007-12-19

[8]

等离子体掺杂方法及等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 ;

佐佐木雄一朗 .

中国专利 :CN100364054C ,2004-05-19

[9]

等离子体掺杂装置及等离子体掺杂方法 [P].

田中胜 ;

栗山仁 ;

室冈博树 .

中国专利 :CN102339737B ,2012-02-01

[10]

等离子体掺杂装置 [P].

奥村智洋 ;

中山一郎 ;

水野文二 .

中国专利 :CN100373549C ,2005-02-09

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