一种单晶硅抛光片在线检测仪

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201520610444.7

申请日：

2015-08-14

公开(公告)号：

CN204902814U

公开(公告)日：

2015-12-23

发明(设计)人：

邓德翼高烨赵文龙胡晓亮李宏儒牛海涛

申请人：

申请人地址：

471000 河南省洛阳市洛阳高新技术产业开发区滨河北路99号

IPC主分类号：

G01B2122

IPC分类号：

G01B2100 G01B506

代理机构：

洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120

代理人：

罗民健

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 21/22 申请日:20150814 授权公告日:20151223 终止日期:20170814
2015-12-23	授权	授权

共 50 条

[1]

单晶硅衬底双面抛光片 [P].

喻勤建 ;

邓建伟 ;

周理明 .

中国专利 :CN2423655Y ,2001-03-14

[2]

一种单晶硅电阻检测仪 [P].

薛佳伟 ;

薛佳勇 ;

王海军 .

中国专利 :CN208888312U ,2019-05-21

[3]

单晶硅晶片检测仪 [P].

甄伟 ;

赵松彬 .

中国专利 :CN206710342U ,2017-12-05

[4]

一种单晶硅抛光片生产用抛光装置 [P].

李长坤 ;

谢永奕 .

中国专利 :CN217097163U ,2022-08-02

[5]

一种智能单晶硅电阻检测仪 [P].

薛佳伟 ;

薛佳勇 ;

王海军 .

中国专利 :CN110927454A ,2020-03-27

[6]

一种单晶硅抛光片的清洗方法 [P].

闫志文 ;

王刚 ;

刘园 ;

王广勇 ;

石明 ;

徐荣清 ;

吕莹 ;

张晋会 .

中国专利 :CN107195537A ,2017-09-22

[7]

一种单晶硅抛光片热处理装置 [P].

詹玉峰 ;

陈跃华 ;

方勇华 .

中国专利 :CN113161258A ,2021-07-23

[8]

一种单晶硅抛光片热处理工艺 [P].

冯泉林 ;

周旗钢 ;

屠海令 ;

王敬 ;

刘斌 ;

万关良 ;

张果虎 .

中国专利 :CN100338270C ,2006-05-10

[9]

一种适用于单晶硅抛光片目检的暗室 [P].

熊诚雷 ;

吴跃峰 .

中国专利 :CN209182221U ,2019-07-30

[10]

一种单晶硅抛光片热处理装置及工艺 [P].

王善明 .

中国专利 :CN110170929A ,2019-08-27

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