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一种单晶硅抛光片生产用抛光装置

被引：0
申请号：
CN202220059767.1
申请日：
2022-01-11
公开(公告)号：
CN217097163U
公开(公告)日：
2022-08-02
发明(设计)人：
李长坤 谢永奕
申请人：
申请人地址：
528200 广东省佛山市南海区桂城街道桂澜北路26号依云置地中心3座1814、1815(住所申报)
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B4106 B24B4722
代理机构：
北京国坤专利代理事务所(普通合伙) 11491
代理人：
赵红霞
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-08-02 授权 授权
共 50 条
[1]
单晶硅衬底双面抛光片 [P]. 
喻勤建 ;
邓建伟 ;
周理明 .
中国专利 :CN2423655Y ,2001-03-14
[2]
一种单晶硅抛光片热处理装置 [P]. 
詹玉峰 ;
陈跃华 ;
方勇华 .
中国专利 :CN113161258A ,2021-07-23
[3]
一种单晶硅抛光片热处理装置及工艺 [P]. 
王善明 .
中国专利 :CN110170929A ,2019-08-27
[4]
一种单晶硅抛光片的清洗方法 [P]. 
闫志文 ;
王刚 ;
刘园 ;
王广勇 ;
石明 ;
徐荣清 ;
吕莹 ;
张晋会 .
中国专利 :CN107195537A ,2017-09-22
[5]
一种单晶硅抛光片热处理工艺 [P]. 
冯泉林 ;
周旗钢 ;
屠海令 ;
王敬 ;
刘斌 ;
万关良 ;
张果虎 .
中国专利 :CN100338270C ,2006-05-10
[6]
一种单晶硅切片生产用抛光装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN207480345U ,2018-06-12
[7]
一种单晶硅切片生产用抛光装置 [P]. 
李倩 .
中国专利 :CN209158025U ,2019-07-26
[8]
一种单晶硅切片生产用抛光装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN107695858A ,2018-02-16
[9]
一种高洁净度单晶硅抛光片清洗设备 [P]. 
吴晓峰 ;
孙新利 ;
钱奥成 ;
申文婷 .
中国专利 :CN119303892B ,2025-04-08
[10]
一种高洁净度单晶硅抛光片清洗设备 [P]. 
吴晓峰 ;
孙新利 ;
钱奥成 ;
申文婷 .
中国专利 :CN119303892A ,2025-01-14
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