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一种单晶硅切片生产用抛光装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN201721259844.3
申请日：
2017-09-28
公开(公告)号：
CN207480345U
公开(公告)日：
2018-06-12
发明(设计)人：
曹曙光
申请人：
申请人地址：
224400 江苏省盐城市阜宁澳洋工业园静溪路5号（F）
IPC主分类号：
B24B2902
IPC分类号：
B24B5702
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-09-17 | 专利权的终止 | 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 29/02 申请日:20170928 授权公告日:20180612 终止日期:20180928 |
| 2018-06-12 | 授权 | 授权 |