一种单晶硅切片生产用抛光装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201821424177.4
申请日
2018-08-31
公开(公告)号
CN209158025U
公开(公告)日
2019-07-26
发明(设计)人
李倩
申请人
申请人地址
350000 福建省福州市仓山区盖山镇跃进村高埔26号
IPC主分类号
B24B2902
IPC分类号
B24B5510
代理机构
北京鱼爪知识产权代理有限公司 11754
代理人
廖斌
法律状态
专利权的终止
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
一种单晶硅切片生产用抛光装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN207480345U ,2018-06-12
[2]
一种单晶硅切片生产用抛光装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN107695858A ,2018-02-16
[3]
一种单晶硅切片生产用研磨装置 [P]. 
王初林 .
中国专利 :CN211988852U ,2020-11-24
[4]
一种单晶硅切片生产用切断装置 [P]. 
王初林 .
中国专利 :CN211993636U ,2020-11-24
[5]
一种单晶硅切片生产用清洗装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN207563318U ,2018-07-03
[6]
一种单晶硅切片生产用研磨装置 [P]. 
曹曙光 .
中国专利 :CN207873940U ,2018-09-18
[7]
一种单晶硅生产用切片装置 [P]. 
杨哲 .
中国专利 :CN108656372A ,2018-10-16
[8]
一种单晶硅抛光片生产用抛光装置 [P]. 
李长坤 ;
谢永奕 .
中国专利 :CN217097163U ,2022-08-02
[9]
一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置 [P]. 
李帅 ;
高万里 ;
陈晓明 .
中国专利 :CN211295058U ,2020-08-18
[10]
一种单晶硅切片用研磨装置 [P]. 
王初林 .
中国专利 :CN214346768U ,2021-10-08