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一种半自动研磨液的供应装置
被引:0
专利类型
:
实用新型
申请号
:
CN202020891779.1
申请日
:
2020-05-25
公开(公告)号
:
CN213352080U
公开(公告)日
:
2021-06-04
发明(设计)人
:
罗保兴
杨凯
申请人
:
申请人地址
:
201400 上海市奉贤区六团公路310号1幢102室
IPC主分类号
:
B24B5702
IPC分类号
:
代理机构
:
北京久维律师事务所 11582
代理人
:
邢江峰
法律状态
:
授权
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2021-06-04
授权
授权
共 50 条
[1]
一种研磨液供应装置
[P].
李宗龙
论文数:
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0
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李宗龙
;
谢明发
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谢明发
;
郭庆邦
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郭庆邦
;
赖建宏
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赖建宏
;
高宏志
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高宏志
.
中国专利
:CN203045540U
,2013-07-10
[2]
一种研磨液供应装置
[P].
李春
论文数:
0
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0
李春
.
中国专利
:CN206855264U
,2018-01-09
[3]
研磨液供应装置
[P].
左少杰
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左少杰
;
詹明松
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詹明松
;
王怀锋
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王怀锋
;
余文军
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余文军
;
曹开玮
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曹开玮
.
中国专利
:CN201728595U
,2011-02-02
[4]
一种研磨液供应装置及研磨系统
[P].
戴翔
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
戴翔
;
陈鸿泽
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机构:
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司
陈鸿泽
.
中国专利
:CN220498818U
,2024-02-20
[5]
一种化学研磨液的供应系统
[P].
罗保兴
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罗保兴
;
杨凯
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杨凯
.
中国专利
:CN212762852U
,2021-03-23
[6]
研磨液供应装置和包括研磨液供应装置的抛光设备
[P].
裴栽贤
论文数:
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裴栽贤
;
韩基润
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韩基润
.
中国专利
:CN105364719B
,2016-03-02
[7]
一种研磨液中央供应系统
[P].
李春
论文数:
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0
李春
;
黄荣燕
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黄荣燕
.
中国专利
:CN207223702U
,2018-04-13
[8]
一种纺丝液自动供应装置
[P].
赵旭旭
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赵旭旭
;
刘向文
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刘向文
.
中国专利
:CN217438358U
,2022-09-16
[9]
一种研磨剂的储存供应装置
[P].
杨建良
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杨建良
;
杨红娟
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杨红娟
.
中国专利
:CN202062530U
,2011-12-07
[10]
半自动研磨装置
[P].
马香柏
论文数:
0
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马香柏
.
中国专利
:CN202726711U
,2013-02-13
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