用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜和使用该多晶硅薄膜的器件

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN03132786.9
申请日
2003-07-08
公开(公告)号
CN100421263C
公开(公告)日
2004-05-12
发明(设计)人
李基龙 朴志容 苏宇永
申请人
申请人地址
韩国京畿道
IPC主分类号
H01L29786
IPC分类号
H01L2100
代理机构
北京市柳沈律师事务所
代理人
封新琴;巫肖南
法律状态
授权
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
用于薄膜晶体管的多晶硅薄膜及使用该多晶硅薄膜的显示器件 [P]. 
李基龙 .
中国专利 :CN1310338C ,2003-07-30
[2]
制造多晶硅薄膜的方法和使用该多晶硅的薄膜晶体管 [P]. 
拉梅什·卡卡德 .
中国专利 :CN1658376A ,2005-08-24
[3]
多晶硅薄膜晶体管 [P]. 
刘红侠 ;
栾苏珍 .
中国专利 :CN101286530B ,2008-10-15
[4]
多晶硅薄膜晶体管 [P]. 
赵淑云 ;
郭海成 ;
凌代年 ;
邱成峰 ;
彭华军 ;
黄飚 .
中国专利 :CN102610651A ,2012-07-25
[5]
形成多晶硅薄膜的方法及包含多晶硅薄膜的薄膜晶体管 [P]. 
官大新 ;
叶昱均 ;
闫立志 ;
韩开 .
中国专利 :CN105990098B ,2016-10-05
[6]
低温多晶硅薄膜晶体管的制造方法、低温多晶硅薄膜晶体管 [P]. 
葛泳 ;
邱勇 ;
黄秀颀 ;
朱涛 ;
刘玉成 .
中国专利 :CN103050410A ,2013-04-17
[7]
低温多晶硅的制作方法、低温多晶硅薄膜和薄膜晶体管 [P]. 
田雪雁 .
中国专利 :CN103219230B ,2013-07-24
[8]
多晶硅薄膜的制备方法和薄膜晶体管 [P]. 
张卜芳 ;
李松杉 .
中国专利 :CN110085511A ,2019-08-02
[9]
多晶硅薄膜形成方法、掩膜版、多晶硅薄膜和薄膜晶体管 [P]. 
李栋 ;
陆小勇 ;
张帅 ;
刘政 ;
龙春平 .
中国专利 :CN105185694A ,2015-12-23
[10]
多晶硅薄膜、多晶硅薄膜晶体管及阵列基板的制备方法 [P]. 
刘政 .
中国专利 :CN103972050A ,2014-08-06