一种蓝宝石衬底粗糙表面碳化硼的去除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910971713.5

申请日：

2019-10-14

公开(公告)号：

CN110802052A

公开(公告)日：

2020-02-18

发明(设计)人：

杨华宋述远蔡金荣

申请人：

申请人地址：

212200 江苏省镇江市扬中市油坊新材料工业园区

IPC主分类号：

B08B100

IPC分类号：

B08B302 B08B308 B08B310 B08B312 B08B700 H01L3300

代理机构：

南京经纬专利商标代理有限公司 32200

代理人：

曹翠珍;楼高潮

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-03-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B08B 1/00 申请日:20191014
2020-02-18	公开	公开
2022-12-09	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):B08B 1/00 申请公布日:20200218

共 50 条

[1]

一种用于蓝宝石衬底片碳化硼研磨后的清洗方法 [P].

陆昌程 ;

宋述远 ;

蔡金荣 .

中国专利 :CN110586568A ,2019-12-20

[2]

蓝宝石衬底材料表面粗糙度的控制方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

檀柏梅 ;

刘钠 .

中国专利 :CN1857865A ,2006-11-08

[3]

废弃蓝宝石衬底的再生方法及蓝宝石衬底 [P].

李刚 ;

靳彩霞 ;

张文燕 ;

胡清富 ;

潘树林 ;

武杰 .

中国专利 :CN113782648A ,2021-12-10

[4]

一种蓝宝石衬底加工方法、蓝宝石衬底及LED [P].

郭文凯 ;

田晓强 ;

崔思远 ;

文国昇 ;

金从龙 .

中国专利 :CN117832337A ,2024-04-05

[5]

一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用装置 [P].

曹华军 ;

葛威威 ;

陈二恒 ;

鄢佳豪 ;

鞠文杰 ;

赵伟 ;

曹航 .

中国专利 :CN107986283A ,2018-05-04

[6]

便于去除蓝宝石衬底的外延结构 [P].

成诗恕 .

中国专利 :CN102299169A ,2011-12-28

[7]

一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法 [P].

阚开乐 ;

张茂亮 .

中国专利 :CN121237646A ,2025-12-30

[8]

一种去除蓝光发光芯片蓝宝石衬底的方法 [P].

娄朝刚 ;

张晓兵 ;

雷威 ;

朱卓娅 ;

肖梅 ;

王琦龙 .

中国专利 :CN101157568A ,2008-04-09

[9]

一种蓝宝石衬底研磨废液中碳化硼高效循环再利用新方法 [P].

曹华军 ;

葛威威 ;

陈二恒 ;

鄢佳豪 ;

鞠文杰 ;

赵伟 ;

曹航 .

中国专利 :CN108002388A ,2018-05-08

[10]

一种去除蓝宝石基片表面粗糙以及伤痕的加工方法 [P].

徐良 .

中国专利 :CN102166790A ,2011-08-31

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