一种蓝宝石衬底的表面杂质抛光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202511784418.0

申请日：

2025-12-01

公开(公告)号：

CN121237646A

公开(公告)日：

2025-12-30

发明(设计)人：

阚开乐张茂亮

申请人：

深圳市鑫德普科技有限公司

申请人地址：

518000 广东省深圳市龙华区民治街道民治社区沙吓工业区11栋301(一照多址企业)

IPC主分类号：

H01L21/463

IPC分类号：

H01L21/66 B24B1/00 B24B29/02 B24B49/02 C09G1/02

代理机构：

深圳市盛果果知识产权代理事务所(普通合伙) 44756

代理人：

吴俊莹

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-12-30	公开	公开

共 50 条

[1]

一种蓝宝石衬底片抛光方法 [P].

徐永亮 ;

王辽阔 ;

施海斌 ;

柳瑞森 ;

吴鲁 ;

周波 .

中国专利 :CN109807695A ,2019-05-28

[2]

一种蓝宝石衬底化学机械抛光方法 [P].

张振宇 ;

许超 ;

王林海 ;

孟凡宁 .

中国专利 :CN110076682A ,2019-08-02

[3]

一种蓝宝石衬底抛光工艺 [P].

柳祝平 ;

黄小卫 ;

王联 .

中国专利 :CN102513906B ,2012-06-27

[4]

一种蓝宝石衬底抛光装置 [P].

柳祝平 ;

黄小卫 ;

王联 .

中国专利 :CN202388365U ,2012-08-22

[5]

一种蓝宝石半导体衬底的抛光工艺 [P].

陈斌 .

中国专利 :CN117182763B ,2024-08-06

[6]

LED蓝宝石衬底抛光装置 [P].

吴康 ;

李国红 ;

马跃东 ;

邓源 .

中国专利 :CN214135472U ,2021-09-07

[7]

蓝宝石衬底抛光液 [P].

牛新环 ;

崔雅琪 ;

王治 ;

周佳凯 ;

王如 ;

何彦刚 .

中国专利 :CN110885636A ,2020-03-17

[8]

蓝宝石衬底材料抛光后表面洁净方法 [P].

刘玉岭 ;

牛新环 ;

刘金玉 .

中国专利 :CN101912855B ,2010-12-15

[9]

蓝宝石衬底抛光装置 [P].

杨国峰 ;

杨文娟 .

中国专利 :CN204118036U ,2015-01-21

[10]

蓝宝石衬底抛光装置 [P].

朱宁 ;

刘增伟 ;

魏行行 .

中国专利 :CN205588136U ,2016-09-21

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