一种高平坦度的硅腐蚀片加工工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811519492.X

申请日：

2018-12-12

公开(公告)号：

CN109545663A

公开(公告)日：

2019-03-29

发明(设计)人：

常耀辉于妍王云彪吕菲武永超赵权

申请人：

申请人地址：

300220 天津市河西区洞庭路26号

IPC主分类号：

H01L2102

IPC分类号：

代理机构：

天津中环专利商标代理有限公司 12105

代理人：

王凤英

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-29	公开	公开
2019-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20181212

共 50 条

[1]

超高平坦度硅片的生产工艺 [P].

王鸣 ;

沈福林 ;

张聪 ;

高洪涛 .

中国专利 :CN114446766A ,2022-05-06

[2]

超高平坦度硅片的生产工艺 [P].

王鸣 ;

沈福林 ;

张聪 ;

高洪涛 .

中国专利 :CN114446766B ,2024-08-20

[3]

一种大腐蚀纹单晶硅碱腐蚀片加工工艺 [P].

张俊生 ;

李满 ;

刘沛然 ;

黄建国 .

中国专利 :CN102418150A ,2012-04-18

[4]

一种高平面度的滚剪刀片加工工艺 [P].

张增明 ;

朱凌云 ;

陈洋 ;

谢敏 ;

韦昌森 .

中国专利 :CN110125629B ,2019-08-16

[5]

一种高平整度钢化玻璃的加工工艺 [P].

禹建丽 ;

李金钟 ;

张国辉 .

中国专利 :CN106630567A ,2017-05-10

[6]

一种超薄高平整度钼片加工方法 [P].

郭小君 ;

郭顺华 ;

吴敏 ;

王晖 .

中国专利 :CN1243120C ,2004-03-24

[7]

一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法 [P].

卞梁 ;

潘连胜 ;

杨昱 .

中国专利 :CN114093760A ,2022-02-25

[8]

一种改善硅片酸腐蚀平坦度的方法 [P].

卞梁 ;

潘连胜 ;

杨昱 .

中国专利 :CN114093760B ,2024-11-29

[9]

一种偏光片加工工艺 [P].

陈德钦 .

中国专利 :CN103278878A ,2013-09-04

[10]

一种度硫平片加工工艺 [P].

高煜 .

中国专利 :CN110496178A ,2019-11-26

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