对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010002592.6

申请日：

2020-01-02

公开(公告)号：

CN111088473B

公开(公告)日：

2020-05-01

发明(设计)人：

赵钰徐鹏

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

许静;刘伟

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-01	公开	公开
2022-05-13	授权	授权
2020-05-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20200102

共 50 条

[1]

掩膜板支撑机构、对位装置、对位方法 [P].

刘金彪 ;

饶勇 ;

谭瑞 ;

李有亮 ;

王政 .

中国专利 :CN109763095B ,2019-05-17

[2]

OLED掩膜板对位方法 [P].

高昕伟 ;

李雄熙 ;

车炯坤 .

中国专利 :CN102110787A ,2011-06-29

[3]

对位掩膜板、金属掩膜板组件及其制备方法 [P].

梅菊 ;

徐鹏 ;

叶建波 ;

马国强 ;

肖磊芳 .

中国专利 :CN110438448B ,2019-11-12

[4]

对位标记结构、基板、掩膜板、基板与掩膜板的对位方法 [P].

古海裕 ;

刘威 ;

何春荣 ;

朱春生 ;

王士敏 ;

朱泽力 .

中国专利 :CN113540038A ,2021-10-22

[5]

对位标记结构、基板、掩膜板、基板与掩膜板的对位方法 [P].

古海裕 ;

刘威 ;

何春荣 ;

朱春生 ;

王士敏 ;

朱泽力 .

中国专利 :CN113540038B ,2024-12-31

[6]

掩膜板真空对位装置 [P].

杨明生 ;

张永红 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

王曼媛 .

中国专利 :CN102184934B ,2011-09-14

[7]

金属掩膜板对位装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105648400A ,2016-06-08

[8]

掩膜板、蒸镀装置及掩膜板对位方法 [P].

欧凌涛 ;

李伟丽 ;

卓林海 ;

余强根 ;

甘帅燕 ;

王亚 .

中国专利 :CN109609911A ,2019-04-12

[9]

一种掩膜板及掩膜对位方法 [P].

杨鹏 ;

叶子敬 ;

严帅帅 .

中国专利 :CN110967921A ,2020-04-07

[10]

蒸镀掩膜板对位系统 [P].

敖伟 ;

邱勇 ;

陈红 ;

黄秀颀 ;

何麟 .

中国专利 :CN103160775B ,2013-06-19

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