对位掩膜板、金属掩膜板组件及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910851395.9

申请日：

2019-09-10

公开(公告)号：

CN110438448B

公开(公告)日：

2019-11-12

发明(设计)人：

梅菊徐鹏叶建波马国强肖磊芳

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1412 C23C1424

代理机构：

北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291

代理人：

李欣

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-06-03	授权	授权
2019-11-12	公开	公开
2019-12-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20190910

共 50 条

[1]

对位掩膜板、对位机构、对位掩膜板的制备方法 [P].

赵钰 ;

徐鹏 .

中国专利 :CN111088473B ,2020-05-01

[2]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

[3]

掩膜装置及其掩膜组件、掩膜板 [P].

苏君海 ;

龚建国 ;

吴俊雄 ;

冉应刚 ;

柯贤军 ;

李建华 .

中国专利 :CN107653435A ,2018-02-02

[4]

掩膜板，掩膜板组件及其制造方法 [P].

刘月 .

中国专利 :CN112126893A ,2020-12-25

[5]

金属掩膜条、掩膜板框架、金属掩膜板及其焊接方法 [P].

罗昶 ;

嵇凤丽 ;

吴建鹏 ;

杨晓宇 .

中国专利 :CN110129723B ,2019-08-16

[6]

金属掩膜板对位装置 [P].

不公告发明人 .

中国专利 :CN105648400A ,2016-06-08

[7]

掩膜板与掩膜板组件 [P].

刘华猛 ;

沈阔 ;

白珊珊 ;

王伟伟 ;

刘佳宁 ;

王蓓 ;

张智辉 .

中国专利 :CN112281113A ,2021-01-29

[8]

掩膜板及掩膜板组件 [P].

刘颖 ;

付佳 ;

周皓月 ;

赵晶晶 ;

刘明星 .

中国专利 :CN114807844A ,2022-07-29

[9]

掩膜板及掩膜板组件 [P].

王恩霞 ;

孙琳 ;

李世泰 ;

李慧 ;

李伟丽 ;

刘明星 ;

甘帅燕 .

中国专利 :CN111926291A ,2020-11-13

[10]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

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