套刻精度检测方法及套刻偏差补偿方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010018880.0

申请日：

2020-01-08

公开(公告)号：

CN113093475A

公开(公告)日：

2021-07-09

发明(设计)人：

柏耸马其梁宋涛沙沙

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

徐文欣

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20200108
2021-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻标记及套刻精度检测方法 [P].

栾会倩 ;

吴长明 ;

姚振海 .

中国专利 :CN113093483A ,2021-07-09

[2]

套刻偏差的补偿方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 .

中国专利 :CN114114844B ,2024-04-19

[3]

套刻偏差的补偿方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 .

中国专利 :CN114114844A ,2022-03-01

[4]

套刻偏差的补偿系统及方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 ;

季颖娣 ;

范蕤 ;

朱定海 .

中国专利 :CN114690567A ,2022-07-01

[5]

套刻偏差的补偿系统及方法 [P].

张海 ;

杨晓松 ;

吴怡旻 ;

季颖娣 ;

范蕤 ;

朱定海 .

中国专利 :CN114690567B ,2024-12-17

[6]

套刻偏差的检测结构及其制备方法、套刻偏差的检测方法 [P].

李朋 .

中国专利 :CN120559951A ,2025-08-29

[7]

套刻精度的检测方法 [P].

李钢 .

中国专利 :CN102749815A ,2012-10-24

[8]

套刻精度的检测结构及其制备方法、套刻精度的检测方法 [P].

季明华 ;

黄早红 .

中国专利 :CN115145127B ,2022-10-04

[9]

套刻标记结构、光罩、套刻标记方法及套刻偏移检测方法 [P].

石敦山 .

中国专利 :CN118377195A ,2024-07-23

[10]

套刻检测方法 [P].

祝君龙 .

中国专利 :CN117826547B ,2024-06-07

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