套刻标记及套刻精度检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110346212.5

申请日：

2021-03-31

公开(公告)号：

CN113093483A

公开(公告)日：

2021-07-09

发明(设计)人：

栾会倩吴长明姚振海

申请人：

申请人地址：

214028 江苏省无锡市新吴区新洲路30号

IPC主分类号：

G03F900

IPC分类号：

G01B1100

代理机构：

上海浦一知识产权代理有限公司 31211

代理人：

郭立

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 9/00 申请日:20210331
2021-07-09	公开	公开

共 50 条

[1]

套刻标记结构、光罩、套刻标记方法及套刻偏移检测方法 [P].

石敦山 .

中国专利 :CN118377195A ,2024-07-23

[2]

套刻精度检测方法及套刻偏差补偿方法 [P].

柏耸 ;

马其梁 ;

宋涛 ;

沙沙 .

中国专利 :CN113093475A ,2021-07-09

[3]

套刻精度的检测方法 [P].

李钢 .

中国专利 :CN102749815A ,2012-10-24

[4]

套刻精度的检测结构及其制备方法、套刻精度的检测方法 [P].

季明华 ;

黄早红 .

中国专利 :CN115145127B ,2022-10-04

[5]

套刻检测方法 [P].

祝君龙 .

中国专利 :CN117826547B ,2024-06-07

[6]

套刻检测方法 [P].

祝君龙 .

中国专利 :CN117826547A ,2024-04-05

[7]

套刻精度的检测方法及其检测结构 [P].

张弓玉帛 ;

袁立春 .

中国专利 :CN113257704B ,2021-08-13

[8]

套刻精度的检测方法及其检测结构 [P].

柏耸 ;

张高颖 ;

何弦 ;

蔡哲炜 ;

王晓林 ;

徐爱群 ;

朱占魁 .

中国专利 :CN118795735A ,2024-10-18

[9]

套刻偏差的检测结构及其制备方法、套刻偏差的检测方法 [P].

李朋 .

中国专利 :CN120559951A ,2025-08-29

[10]

套刻标记、掩膜组件、检测方法及误差分析方法 [P].

刘志拯 .

中国专利 :CN118092067A ,2024-05-28

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