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一种缺陷检测装置及方法
被引:0
专利类型
:
发明
申请号
:
CN201611237170.7
申请日
:
2016-12-28
公开(公告)号
:
CN108254379A
公开(公告)日
:
2018-07-06
发明(设计)人
:
周钰颖
申请人
:
申请人地址
:
201203 上海市浦东新区张东路1525号
IPC主分类号
:
G01N2188
IPC分类号
:
代理机构
:
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237
代理人
:
屈蘅;李时云
法律状态
:
公开
国省代码
:
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法律状态
法律状态公告日
法律状态
法律状态信息
2018-07-06
公开
公开
2020-10-27
授权
授权
2018-07-31
实质审查的生效
实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/88 申请日:20161228
共 50 条
[1]
一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
杨朝兴
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海御微半导体技术有限公司
上海御微半导体技术有限公司
杨朝兴
.
中国专利
:CN117288757B
,2024-08-13
[2]
一种缺陷检测方法及缺陷检测装置
[P].
赵伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
赵伟
;
苏启雄
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
苏启雄
;
林映庭
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
林映庭
;
杨小冬
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
杨小冬
.
中国专利
:CN112577959A
,2021-03-30
[3]
一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
伊凯
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
伊凯
.
中国专利
:CN111610197A
,2020-09-01
[4]
一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
杨晓青
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
杨晓青
;
申永强
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
申永强
;
韩雪山
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
韩雪山
;
王帆
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
王帆
.
中国专利
:CN110658196B
,2020-01-07
[5]
一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
张鹏黎
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
张鹏黎
.
中国专利
:CN113533353A
,2021-10-22
[6]
一种缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
赵赫
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
赵赫
.
中国专利
:CN111551556A
,2020-08-18
[7]
缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
久利龙平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
久利龙平
.
中国专利
:CN111323423A
,2020-06-23
[8]
缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
山崎隆一
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
山崎隆一
.
中国专利
:CN101600957A
,2009-12-09
[9]
缺陷检测装置及缺陷检测方法
[P].
久利龙平
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
精工爱普生株式会社
精工爱普生株式会社
久利龙平
.
日本专利
:CN111323423B
,2024-01-30
[10]
缺陷检测方法及缺陷检测装置
[P].
杨学红
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
杨学红
.
中国专利
:CN109726131B
,2019-05-07
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