一种可同时检测光学元件表面和亚表面缺陷的装置及方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811343299.5

申请日：

2018-11-13

公开(公告)号：

CN109668838B

公开(公告)日：

2019-04-23

发明(设计)人：

孙安玉李智宏居冰峰王传勇杨筱钰孙泽青杜慧林

申请人：

申请人地址：

310027 浙江省杭州市西湖区浙大路38号

IPC主分类号：

G01N2119

IPC分类号：

G01N2127

代理机构：

杭州求是专利事务所有限公司 33200

代理人：

忻明年

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-23	公开	公开
2019-05-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01N 21/19 申请日:20181113
2020-07-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于光学元件亚表面缺陷检测的装置及方法 [P].

孙安玉 ;

钟皓泽 ;

居冰峰 ;

管凯敏 ;

杨筱钰 ;

陈远流 ;

朱吴乐 .

中国专利 :CN113607750B ,2021-11-05

[2]

光学元件亚表面缺陷深度和密度同步检测的装置及方法 [P].

田爱玲 ;

何礼 ;

王红军 ;

朱学亮 ;

刘丙才 ;

茹佳玉 .

中国专利 :CN114136978A ,2022-03-04

[3]

光学元件亚表面缺陷的检测装置 [P].

李亚国 ;

雷向阳 ;

郑楠 ;

邓燕 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN201697882U ,2011-01-05

[4]

光学元件亚表面缺陷的检测装置及其方法 [P].

李亚国 ;

雷向阳 ;

郑楠 ;

邓燕 ;

谢瑞清 ;

陈贤华 ;

王健 ;

许乔 .

中国专利 :CN101819163A ,2010-09-01

[5]

光学元件表面形貌及亚表面缺陷信息的检测方法及其装置 [P].

王红军 ;

吴琳 ;

田爱玲 ;

刘卫国 ;

王大森 ;

朱学亮 ;

刘丙才 .

中国专利 :CN109916909A ,2019-06-21

[6]

一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置和检测方法 [P].

周晓燕 ;

刘红婕 ;

黄进 ;

王凤蕊 ;

刘东 ;

孙焕宇 ;

王狮凌 ;

杨李茗 ;

黎维华 .

中国专利 :CN111208064A ,2020-05-29

[7]

一种光学元件亚表面缺陷检测方法及检测系统 [P].

刘勇 .

中国专利 :CN104568982B ,2015-04-29

[8]

一种光学元件亚表面缺陷快速检测装置 [P].

周晓燕 ;

刘红婕 ;

黄进 ;

王凤蕊 ;

刘东 ;

孙焕宇 ;

王狮凌 ;

杨李茗 ;

黎维华 .

中国专利 :CN212059867U ,2020-12-01

[9]

光学元件亚表面缺陷数字全息检测装置 [P].

于瀛洁 ;

伍小燕 ;

涂桥 ;

王驰 .

中国专利 :CN102519976A ,2012-06-27

[10]

光学元件表面及亚表面缺陷检测红外锁相成像装置 [P].

吴周令 ;

陈坚 ;

黄明 .

中国专利 :CN203101283U ,2013-07-31

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