一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922419607.4

申请日：

2019-12-27

公开(公告)号：

CN211227320U

公开(公告)日：

2020-08-11

发明(设计)人：

郑利波张涛

申请人：

申请人地址：

215433 江苏省苏州市太仓市太仓港经济技术开发区华港路1号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司 11278

代理人：

张涛

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-11	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机 [P].

赵卓 ;

杨鹏 .

中国专利 :CN223535193U ,2025-11-11

[2]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658220U ,2013-01-09

[3]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[4]

磁控溅射镀膜机 [P].

崔娜 ;

朱辉 ;

闫丽娜 ;

张卫 ;

康林杰 ;

郄奕 .

中国专利 :CN205258594U ,2016-05-25

[5]

磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机 [P].

李国伟 ;

王剑涛 ;

陈发伟 ;

李兆廷 .

中国专利 :CN208733217U ,2019-04-12

[6]

一种磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN202658221U ,2013-01-09

[7]

磁控溅射镀膜机的磁控溅射靶 [P].

赵铭 .

中国专利 :CN102703872A ,2012-10-03

[8]

用于磁控溅射镀膜机的隔断装置及磁控溅射镀膜机 [P].

唐莲 ;

金诚明 ;

祝海生 ;

孙桂红 ;

黄乐 ;

黄国兴 .

中国专利 :CN213507173U ,2021-06-22

[9]

磁控溅射镀膜机 [P].

佘鹏程 ;

龚俊 ;

毛朝斌 ;

罗超 .

中国专利 :CN304096205S ,2017-04-05

[10]

磁控溅射镀膜机 [P].

孙桂红 ;

祝海生 ;

黄乐 ;

陈立 ;

唐洪波 ;

唐莲 ;

杨恒 ;

寇立 ;

凌云 .

中国专利 :CN112981339A ,2021-06-18

← 1 2 3 4 5 →