磁控溅射平面阴极镀膜机用阴极背板及磁控溅射平面阴极镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201821280613.5

申请日：

2018-08-09

公开(公告)号：

CN208733217U

公开(公告)日：

2019-04-12

发明(设计)人：

李国伟王剑涛陈发伟李兆廷

申请人：

申请人地址：

100075 北京市丰台区科学城海鹰路9号2号楼266室（园区）

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

北京润平知识产权代理有限公司 11283

代理人：

刘兵;刘伟

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-12	授权	授权
2020-01-17	专利权的保全及其解除	专利权的保全 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180809 授权公告日:20190412 登记生效日:20191212
2020-09-25	专利权的保全及其解除	专利权保全的解除 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20180809 授权公告日:20190412 解除日:20200804
2020-10-02	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C23C 14/35 登记生效日:20200914 变更事项:专利权人变更前权利人:东旭科技集团有限公司变更后权利人:东旭光电科技股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:100075 北京市丰台区科学城海鹰路9号2号楼266室（园区）变更后权利人:050035 河北省石家庄市高新区黄河大道9号变更事项:共同专利权人变更前权利人:东旭集团有限公司

共 50 条

[1]

磁控溅射阴极装置和磁控溅射镀膜机 [P].

赵卓 ;

杨鹏 .

中国专利 :CN223535193U ,2025-11-11

[2]

磁控溅射卷绕镀膜机阴极固定改进结构 [P].

丁磊 ;

李晓哲 .

中国专利 :CN210176942U ,2020-03-24

[3]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN209537612U ,2019-10-25

[4]

磁控溅射镀膜机 [P].

崔娜 ;

朱辉 ;

闫丽娜 ;

张卫 ;

康林杰 ;

郄奕 .

中国专利 :CN205258594U ,2016-05-25

[5]

一种磁控溅射镀膜机的溅射阴极结构 [P].

郑利波 ;

张涛 .

中国专利 :CN211227320U ,2020-08-11

[6]

磁控溅射镀膜机 [P].

佘鹏程 ;

龚俊 ;

毛朝斌 ;

罗超 .

中国专利 :CN304096205S ,2017-04-05

[7]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐琛 .

中国专利 :CN213708464U ,2021-07-16

[8]

磁控溅射镀膜机 [P].

徐旻生 ;

庄炳河 ;

王应斌 ;

龚文志 ;

张亮 ;

李永杰 .

中国专利 :CN110616406A ,2019-12-27

[9]

磁控溅射镀膜机 [P].

王长梗 .

中国专利 :CN306053581S ,2020-09-15

[10]

磁控溅射镀膜机 [P].

李青 ;

李赫然 ;

潘宁 ;

王升 ;

杨涛 ;

刘敏 ;

罗靖 ;

陈金龙 ;

刘春元 .

中国专利 :CN222975274U ,2025-06-13

← 1 2 3 4 5 →