生产三氯硅烷的方法和设备以及生产多晶硅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710337482.3

申请日：

2017-05-15

公开(公告)号：

CN108862283A

公开(公告)日：

2018-11-23

发明(设计)人：

孙蔚晨陈宗艳雷晓青顾小焱

申请人：

申请人地址：

200072 上海市闸北区沪太路801号1幢

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

C01B3303

代理机构：

常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231

代理人：

李帅

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-11-23	公开	公开
2022-09-02	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C01B 33/107 申请公布日:20181123
2018-12-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C01B 33/107 申请日:20170515

共 50 条

[1]

三氯硅烷的制备方法和制备装置以及多晶硅的制备方法 [P].

斋木涉 ;

水岛一树 ;

漆原诚 .

中国专利 :CN101679045B ,2010-03-24

[2]

三氯硅烷的制造方法和多晶硅棒的制造方法 [P].

阪井纯也 ;

饭山昭二 ;

松村邦彦 .

日本专利 :CN118159491A ,2024-06-07

[3]

还原生产多晶硅回收的氯硅烷的处理方法和装置、多晶硅生产中的氯硅烷的处理方法和系统 [P].

陈莉娜 ;

宋高杰 ;

张旭 ;

江庆云 ;

其他发明人请求不公开姓名 .

中国专利 :CN105366681B ,2016-03-02

[4]

生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅 [P].

J-O.霍埃尔 ;

H.谢恩利 ;

H.M.龙格 ;

T.罗 ;

J.比约达尔 .

中国专利 :CN103080007A ,2013-05-01

[5]

生产三氯硅烷的方法和用于生产三氯硅烷的硅 [P].

J·－O·赫尔 ;

H·M·荣 ;

T·罗埃 ;

H·A·奥耶 .

中国专利 :CN100349797C ,2006-08-16

[6]

三氯硅烷的纯化系统和多晶硅的制造方法 [P].

岸亮太 ;

石田昌彦 ;

祢津茂义 .

中国专利 :CN107867695A ,2018-04-03

[7]

多晶硅生产中氯硅烷的分离方法以及分离装置 [P].

刘铁勇 ;

唐红萍 .

中国专利 :CN113247908A ,2021-08-13

[8]

多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的方法 [P].

戴自忠 ;

易忠海 .

中国专利 :CN101417802A ,2009-04-29

[9]

由多晶硅副产物三氯氢硅制备苯基三氯硅烷的方法 [P].

许晓光 .

中国专利 :CN102311453A ,2012-01-11

[10]

多晶硅生产设备的清洗方法、清洗装置及多晶硅生产设备 [P].

安重镒 ;

李相遇 ;

金成基 ;

熊文娟 ;

崔恒玮 ;

田光辉 ;

蒋浩杰 .

中国专利 :CN114308947A ,2022-04-12

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