一种用于调整半导体设备的喷嘴位置的装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201420511582.5

申请日：

2014-09-05

公开(公告)号：

CN204029765U

公开(公告)日：

2014-12-17

发明(设计)人：

詹云

申请人：

申请人地址：

430205 湖北省武汉市东湖开发区高新四路18号

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

G03F716

代理机构：

北京轻创知识产权代理有限公司 11212

代理人：

杨立

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法律状态信息

共 50 条

[1]

一种用于半导体设备净化装置的喷嘴 [P].

葛海骏 ;

时交警 .

中国专利 :CN223249585U ,2025-08-22

[2]

一种用于半导体设备反应腔的喷嘴装置和半导体设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222267474U ,2024-12-31

[3]

一种喷嘴装置和半导体设备 [P].

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222267473U ,2024-12-31

[4]

一种半导体设备的组件调整装置 [P].

邓元吉 ;

陈文棋 .

中国专利 :CN210272295U ,2020-04-07

[5]

半导体设备的排放装置和半导体设备 [P].

刘轩 ;

王军 ;

马一楠 .

中国专利 :CN221407247U ,2024-07-23

[6]

一种用于半导体设备的供电装置 [P].

何金正 ;

陈佳伟 .

中国专利 :CN221669546U ,2024-09-06

[7]

用于半导体设备的回吸装置和半导体设备 [P].

白嘉楠 ;

王明磊 ;

沈玉柱 ;

杨峰 ;

徐威 .

中国专利 :CN215220662U ,2021-12-17

[8]

用于半导体设备的定位装置 [P].

黄任逢 ;

杨安立 ;

彭科津 .

中国专利 :CN208819837U ,2019-05-03

[9]

用于半导体设备的定位装置 [P].

王迪杏 ;

蒋伟 ;

王宁 ;

张阳 ;

秦文兵 ;

王金裕 ;

苗全 ;

盛路阳 ;

王伟 ;

顾育琪 .

中国专利 :CN210429745U ,2020-04-28

[10]

用于半导体设备的装载装置 [P].

王石 .

中国专利 :CN214218911U ,2021-09-17

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