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投射光刻的照明光学单元
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980010827.1
申请日：
2019-01-03
公开(公告)号：
CN111656245A
公开(公告)日：
2020-09-11
发明(设计)人：
M.帕特拉
申请人：
申请人地址：
德国上科亨
IPC主分类号：
G02B1900
IPC分类号：
G03F720
代理机构：
北京市柳沈律师事务所 11105
代理人：
王蕊瑞
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-23 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G02B 19/00 申请日:20190103 |
| 2020-09-11 | 公开 | 公开 |