晶圆生长控制装置和方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710264269.4

申请日：

2017-04-21

公开(公告)号：

CN107170696A

公开(公告)日：

2017-09-15

发明(设计)人：

岳金顺张展张国华周德保梁旭东

申请人：

申请人地址：

266101 山东省青岛市崂山区株洲路惠特工业城5号楼二楼

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

代理机构：

青岛联智专利商标事务所有限公司 37101

代理人：

王笑

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20170421
2020-03-31	授权	授权
2017-09-15	公开	公开

共 50 条

[1]

晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P].

郑分成 .

中国专利 :CN113658889B ,2024-02-06

[2]

晶圆传送装置、传送方法和晶圆传送控制装置 [P].

郑分成 .

中国专利 :CN113658889A ,2021-11-16

[3]

晶体生长方法、晶圆制作方法和晶体生长控制装置 [P].

刘倩 ;

霍慧文 ;

王晨阳 .

中国专利 :CN120649138A ,2025-09-16

[4]

晶锭生长控制装置及其控制方法 [P].

朴玹雨 ;

金世勋 .

中国专利 :CN110050090A ,2019-07-23

[5]

夹持装置和晶圆外延生长设备 [P].

傅林坚 ;

刘毅 ;

曹建伟 ;

朱亮 ;

陈聪 ;

张磊 .

中国专利 :CN220491869U ,2024-02-13

[6]

晶圆外延生长的工艺温度确定方法和晶圆处理方法 [P].

成航航 ;

王力 ;

李佳成 .

中国专利 :CN117790368A ,2024-03-29

[7]

外延晶圆以及外延晶圆的制造方法和装置 [P].

俎世琦 ;

方圭哲 ;

张海博 .

中国专利 :CN120866935A ,2025-10-31

[8]

晶圆清洗装置和晶圆清洗方法 [P].

陶泽魏 ;

胡海波 ;

刘阳 ;

张晓燕 .

中国专利 :CN118116825A ,2024-05-31

[9]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210A ,2025-04-04

[10]

外延生长设备、外延生长方法以及外延晶圆 [P].

孙毅 ;

杨海龙 .

中国专利 :CN119764210B ,2025-11-18

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