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一种用于化学气相沉积设备的气体喷淋头组件

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202022714795.6
申请日：
2020-11-23
公开(公告)号：
CN212175035U
公开(公告)日：
2020-12-18
发明(设计)人：
叶新浩 金補哲 林保璋 王会会
申请人：
申请人地址：
315100 浙江省宁波市鄞州区云龙镇石桥村
IPC主分类号：
C23C16455
IPC分类号：
C23C1650
代理机构：
北京维正专利代理有限公司 11508
代理人：
谢绪宁
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-12-18 授权 授权
共 50 条
[1]
化学气相沉积设备及其气体喷淋头 [P]. 
姜勇 ;
郭世平 ;
王家毅 ;
邹煜申 .
中国专利 :CN117385341A ,2024-01-12
[2]
化学气相沉积设备及其气体喷淋头 [P]. 
姜勇 ;
郭世平 ;
王家毅 ;
邹煜申 .
中国专利 :CN117385341B ,2024-02-09
[3]
一种气体喷淋头及化学气相沉积设备 [P]. 
姜勇 ;
王家毅 .
中国专利 :CN115478261A ,2022-12-16
[4]
一种气体喷淋头及化学气相沉积设备 [P]. 
姜勇 ;
王家毅 .
中国专利 :CN115478261B ,2025-02-14
[5]
一种气体喷淋头及化学气相沉积设备 [P]. 
姜勇 ;
王家毅 .
中国专利 :CN215976033U ,2022-03-08
[6]
喷淋头及化学气相沉积设备 [P]. 
乔徽 .
中国专利 :CN103074605A ,2013-05-01
[7]
喷淋头及化学气相沉积设备 [P]. 
乔徽 .
中国专利 :CN203007411U ,2013-06-19
[8]
用于化学气相沉积工艺的喷淋头 [P]. 
梁秉文 ;
陈勇 ;
叶芷飞 .
中国专利 :CN103074601A ,2013-05-01
[9]
用于化学气相沉积工艺的喷淋头 [P]. 
梁秉文 ;
陈勇 ;
叶芷飞 .
中国专利 :CN202450156U ,2012-09-26
[10]
用于化学气相沉积工艺的喷淋头 [P]. 
梁秉文 .
中国专利 :CN202543326U ,2012-11-21
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