一种磁控溅射镀膜用加热装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201721780875.3

申请日：

2017-12-19

公开(公告)号：

CN207727139U

公开(公告)日：

2018-08-14

发明(设计)人：

邹建雄鲁远甫魏广路李锐焦国华吕建成

申请人：

申请人地址：

518055 广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450 C23C1454

代理机构：

深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304

代理人：

孙伟峰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-14	授权	授权

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜用温度检测装置 [P].

李郁贤 .

中国专利 :CN218330316U ,2023-01-17

[2]

磁控溅射镀膜装置 [P].

胡佳 ;

宋鹤宇 ;

陈弹蛋 ;

胡克林 ;

陆路遥 .

中国专利 :CN223705714U ,2025-12-23

[3]

磁控溅射镀膜装置 [P].

王云靖 .

中国专利 :CN204779786U ,2015-11-18

[4]

磁控溅射镀膜装置 [P].

刘龙龙 ;

李亮生 ;

祁文杰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17

[5]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

朱杰 .

中国专利 :CN206666636U ,2017-11-24

[6]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

唐迎春 ;

丁平伍 ;

李琴 ;

江小军 ;

旷小奇 .

中国专利 :CN221028646U ,2024-05-28

[7]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

何晏兵 ;

曹永祥 ;

仇泽军 ;

李文铭 ;

江培杰 .

中国专利 :CN203683652U ,2014-07-02

[8]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

金宇 ;

陈溢祺 ;

朱忆雪 ;

朱东风 ;

朱运平 ;

金长利 .

中国专利 :CN212476873U ,2021-02-05

[9]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

张俊峰 ;

魏庆瑄 .

中国专利 :CN203021643U ,2013-06-26

[10]

一种磁控溅射镀膜装置 [P].

金攻 ;

涂江平 ;

李玲玲 ;

王刚 ;

王美娜 .

中国专利 :CN202865322U ,2013-04-10

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