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流体供给系统、流体控制装置以及半导体制造装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201980069490.1
申请日：
2019-10-03
公开(公告)号：
CN112888893A
公开(公告)日：
2021-06-01
发明(设计)人：
栗城春彦 中川一 相川献治
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
F17D104
IPC分类号：
F16K2700 F16L4103
代理机构：
北京中博世达专利商标代理有限公司 11274
代理人：
侯志源
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-06-01 公开 公开
2021-06-18 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):F17D 1/04 申请日:20191003
共 50 条
[1]
阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
佐藤龙彦 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
三浦尊 .
中国专利 :CN112469934A ,2021-03-09
[2]
管接头、流体控制器、流体控制装置、半导体制造装置以及管接头的制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
稻田敏之 ;
筱原努 ;
中田知宏 .
中国专利 :CN107923558A ,2018-04-17
[3]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106471298A ,2017-03-01
[4]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106461097A ,2017-02-22
[5]
阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置 [P]. 
丹野竜太郎 ;
吉田俊英 ;
土口大飞 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113423987A ,2021-09-21
[6]
致动器、阀、流体供给系统、以及半导体制造装置 [P]. 
三浦尊 ;
筱原努 ;
中田知宏 ;
稻田敏之 ;
渡边一诚 ;
近藤研太 ;
佐藤秀信 ;
汤原知子 .
中国专利 :CN110730869B ,2020-01-24
[7]
阀装置以及使用该阀装置的控制装置的控制方法、流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
滝本昌彦 ;
吉田俊英 ;
近藤研太 ;
土肥亮介 ;
西野功二 .
中国专利 :CN111373182A ,2020-07-03
[8]
阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置 [P]. 
土口大飞 ;
吉田俊英 ;
丹野竜太郎 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113366253A ,2021-09-07
[9]
阀装置、使用该阀装置的流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
渡边一诚 ;
执行耕平 ;
相川献治 ;
中田知宏 ;
松田隆博 ;
篠原努 .
中国专利 :CN111417809A ,2020-07-14
[10]
阀装置、使用该阀装置的流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
渡边一诚 ;
执行耕平 ;
相川献治 ;
中田知宏 ;
松田隆博 ;
篠原努 .
中国专利 :CN111433496A ,2020-07-17
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