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阀装置以及使用该阀装置的控制装置的控制方法、流体控制装置以及半导体制造装置

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880074687.X
申请日：
2018-11-12
公开(公告)号：
CN111373182A
公开(公告)日：
2020-07-03
发明(设计)人：
滝本昌彦 吉田俊英 近藤研太 土肥亮介 西野功二
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
F16K3102
IPC分类号：
F16K100
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-07-15 发明专利申请公布后的视为撤回 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):F16K 31/02 申请公布日:20200703
2020-07-03 公开 公开
2020-07-28 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):F16K 31/02 申请日:20181112
共 50 条
[1]
阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置 [P]. 
土口大飞 ;
吉田俊英 ;
丹野竜太郎 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113366253A ,2021-09-07
[2]
阀装置、使用该阀装置的流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
渡边一诚 ;
执行耕平 ;
相川献治 ;
中田知宏 ;
松田隆博 ;
篠原努 .
中国专利 :CN111417809A ,2020-07-14
[3]
阀装置、使用该阀装置的流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
渡边一诚 ;
执行耕平 ;
相川献治 ;
中田知宏 ;
松田隆博 ;
篠原努 .
中国专利 :CN111433496A ,2020-07-17
[4]
阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
佐藤龙彦 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
三浦尊 .
中国专利 :CN112469934A ,2021-03-09
[5]
阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置 [P]. 
丹野竜太郎 ;
吉田俊英 ;
土口大飞 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113423987A ,2021-09-21
[6]
流路组件、使用该流路组件的阀装置、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
稻田敏之 ;
渡边一诚 ;
相川献治 ;
执行耕平 ;
中田知宏 ;
松田隆博 ;
篠原努 .
中国专利 :CN113366251A ,2021-09-07
[7]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106471298A ,2017-03-01
[8]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106461097A ,2017-02-22
[9]
阀装置、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法 [P]. 
近藤研太 ;
吉田俊英 ;
相川献治 ;
佐藤秀信 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN111133239A ,2020-05-08
[10]
流体供给系统、流体控制装置以及半导体制造装置 [P]. 
栗城春彦 ;
中川一 ;
相川献治 .
中国专利 :CN112888893A ,2021-06-01
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