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阀装置、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201880062388.4
申请日：
2018-09-11
公开(公告)号：
CN111133239A
公开(公告)日：
2020-05-08
发明(设计)人：
近藤研太 吉田俊英 相川献治 佐藤秀信 中田知宏 篠原努 滝本昌彦
申请人：
申请人地址：
日本大阪府
IPC主分类号：
F16K3102
IPC分类号：
F16K31122 F16K3700 H01L2102 H01L2131 F16K712
代理机构：
北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277
代理人：
刘新宇;张会华
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2020-06-02 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):F16K 31/02 申请日:20180911
2022-09-09 专利权的视为放弃 专利权的视为放弃 IPC(主分类):F16K 31/02 放弃生效日:20220909
2020-05-08 公开 公开
共 50 条
[1]
阀装置、调整信息生成方法、流量调整方法、流体控制装置、流量控制方法、半导体制造装置和半导体制造方法 [P]. 
近藤研太 ;
吉田俊英 ;
佐藤秀信 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN111164341A ,2020-05-15
[2]
阀装置、流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法以及半导体制造装置 [P]. 
丹野竜太郎 ;
吉田俊英 ;
土口大飞 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113423987A ,2021-09-21
[3]
阀装置、使用该阀装置的流量控制方法、流体控制装置、半导体制造方法、以及半导体制造装置 [P]. 
土口大飞 ;
吉田俊英 ;
丹野竜太郎 ;
铃木裕也 ;
近藤研太 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
滝本昌彦 .
中国专利 :CN113366253A ,2021-09-07
[4]
阀装置、流体控制装置、流体控制方法、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
佐藤龙彦 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
三浦尊 .
中国专利 :CN112469934A ,2021-03-09
[5]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106471298A ,2017-03-01
[6]
隔膜阀、流体控制装置、半导体制造装置以及半导体制造方法 [P]. 
渡边一诚 ;
四方出 .
中国专利 :CN106461097A ,2017-02-22
[7]
半导体制造装置和半导体制造方法 [P]. 
冈部庸之 ;
金子健吾 .
中国专利 :CN100462887C ,2006-03-22
[8]
阀装置、使用该阀装置的流量控制方法和半导体制造方法 [P]. 
吉田俊英 ;
中田知宏 ;
篠原努 ;
稻田敏之 ;
船越高志 .
中国专利 :CN109952459B ,2019-06-28
[9]
半导体制造装置和半导体制造方法 [P]. 
森田朋岳 .
中国专利 :CN101202240A ,2008-06-18
[10]
半导体制造方法和半导体制造装置 [P]. 
山口欣秀 ;
佐藤清彦 .
日本专利 :CN114916240B ,2025-11-21
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