制备微晶硅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200510016606.5

申请日：

2005-03-04

公开(公告)号：

CN1727526A

公开(公告)日：

2006-02-01

发明(设计)人：

黄金英付国柱荆海凌志华

申请人：

申请人地址：

130031吉林省长春市东南湖大路16号

IPC主分类号：

C30B2906

IPC分类号：

C30B2802 H01L2134

代理机构：

长春科宇专利代理有限责任公司

代理人：

李恩庆

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2006-02-01	公开	公开
2010-08-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101004439380 IPC(主分类):C30B 29/06 专利号:ZL2005100166065 申请日:20050304 授权公告日:20071226
2006-03-29	实质审查的生效	实质审查的生效
2007-12-26	授权	授权

共 50 条

[1]

一种微晶硅薄膜的沉积方法 [P].

肖金泉 ;

赵彦辉 ;

崔连武 ;

华伟刚 ;

宫骏 ;

孙超 ;

黄荣芳 .

中国专利 :CN102296363A ,2011-12-28

[2]

微晶硅薄膜探测器制备方法及其应用 [P].

邱承彬 ;

王晓煜 ;

刘琳 .

中国专利 :CN102751302A ,2012-10-24

[3]

一种两步生长制备无孵化层微晶硅薄膜的方法 [P].

吴爱民 ;

岳红云 ;

李廷举 ;

林国强 ;

谭毅 .

中国专利 :CN102492933A ,2012-06-13

[4]

有机染料分子敏化非晶硅/微晶硅太阳电池的制备方法 [P].

张长沙 ;

王占国 ;

石明吉 ;

彭文博 ;

刘石勇 ;

肖海波 ;

廖显伯 ;

孔光临 ;

曾湘波 .

中国专利 :CN101488560A ,2009-07-22

[5]

制造微晶硅薄膜的方法 [P].

陈麒麟 ;

黄志仁 .

中国专利 :CN101237006A ,2008-08-06

[6]

制造薄膜晶体管的微晶硅薄膜的方法及设备 [P].

陈科 ;

张羿 .

中国专利 :CN101752230A ,2010-06-23

[7]

微晶硅薄膜的形成方法 [P].

李沅民 ;

马昕 .

中国专利 :CN101237005A ,2008-08-06

[8]

微晶硅薄膜制备装置 [P].

周颖 ;

赵东明 ;

李孟蕾 ;

肖平 ;

陈国军 ;

王玮 ;

刘杰 ;

杨斌 ;

汪海军 ;

陈雄飞 ;

王立闯 .

中国专利 :CN119530750A ,2025-02-28

[9]

微晶硅薄膜的制备方法、太阳能电池及其制备方法 [P].

请求不公布姓名 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN120640810A ,2025-09-12

[10]

微晶硅薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

黄同阳 ;

曲铭浩 ;

胡安红 ;

汝小宁 ;

张津燕 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN103311368A ,2013-09-18

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