制造微晶硅薄膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200710145385.0

申请日：

2007-09-11

公开(公告)号：

CN101237006A

公开(公告)日：

2008-08-06

发明(设计)人：

陈麒麟黄志仁

申请人：

申请人地址：

台湾省新竹县竹东镇中兴路4段195号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

H01L21205 C23C1624 C23C1652

代理机构：

北京连和连知识产权代理有限公司

代理人：

包红健

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2010-07-21	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1603 号牌文件序号:101003312833 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2007101453850 公开日:20080806
2008-08-06	公开	公开
2008-10-29	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

微晶硅太阳能电池的制造方法 [P].

明承烨 .

中国专利 :CN101540352A ,2009-09-23

[2]

一种微晶硅薄膜的沉积方法 [P].

肖金泉 ;

赵彦辉 ;

崔连武 ;

华伟刚 ;

宫骏 ;

孙超 ;

黄荣芳 .

中国专利 :CN102296363A ,2011-12-28

[3]

一种制备微晶硅薄膜的方法 [P].

黄海宾 ;

刘翠翠 .

中国专利 :CN119980178A ,2025-05-13

[4]

微晶硅薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

黄同阳 ;

曲铭浩 ;

胡安红 ;

汝小宁 ;

张津燕 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN103311368A ,2013-09-18

[5]

微晶硅薄膜太阳能电池的制造方法 [P].

张津燕 ;

胡安红 ;

徐希翔 ;

李沅民 ;

单洪青 .

中国专利 :CN102856437A ,2013-01-02

[6]

制造薄膜晶体管的微晶硅薄膜的方法及设备 [P].

陈科 ;

张羿 .

中国专利 :CN101752230A ,2010-06-23

[7]

制备微晶硅的方法 [P].

黄金英 ;

付国柱 ;

荆海 ;

凌志华 .

中国专利 :CN1727526A ,2006-02-01

[8]

微晶硅薄膜制备装置 [P].

周颖 ;

赵东明 ;

李孟蕾 ;

肖平 ;

陈国军 ;

王玮 ;

刘杰 ;

杨斌 ;

汪海军 ;

陈雄飞 ;

王立闯 .

中国专利 :CN119530750A ,2025-02-28

[9]

微晶硅薄膜晶体管结构及其制造方法 [P].

蔡政儒 ;

陈柏求 ;

时定康 ;

黄俊杰 ;

叶永辉 .

中国专利 :CN101527319B ,2009-09-09

[10]

微晶硅薄膜太阳能电池及其制造方法 [P].

张津燕 ;

胡安红 ;

曲铭浩 ;

郁操 ;

杨少飞 ;

徐希翔 .

中国专利 :CN103441153A ,2013-12-11

← 1 2 3 4 5 →