用于生产多晶硅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201580007116.0

申请日：

2015-01-22

公开(公告)号：

CN105980304A

公开(公告)日：

2016-09-28

发明(设计)人：

哈拉尔德·赫特莱因弗里德里希·波普

申请人：

申请人地址：

德国慕尼黑

IPC主分类号：

C01B33035

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

沈敬亭;徐丽华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-02-09	授权	授权
2016-09-28	公开	公开
2016-10-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101684682704 IPC(主分类):C01B 33/035 专利申请号:2015800071160 申请日:20150122
2022-12-30	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/035 申请日:20150122 授权公告日:20180209 终止日期:20220122

共 50 条

[1]

用于生产多晶硅的方法 [P].

沃尔特·哈克尔 ;

芭芭拉·米勒 ;

罗伯特·林 .

中国专利 :CN102862987A ,2013-01-09

[2]

多晶硅棒和用于生产多晶硅的方法 [P].

米哈伊尔·索芬 ;

埃里克·多恩贝格尔 ;

赖纳·佩什 .

中国专利 :CN104010969B ,2014-08-27

[3]

用于生产多晶硅的方法 [P].

芭芭拉·米勒 ;

沃尔特·哈克尔 ;

沃尔夫冈·施托伊贝尔 .

中国专利 :CN105579395A ,2016-05-11

[4]

用于生产多晶硅的方法 [P].

约兰·克洛泽 ;

海因茨·克劳泽 ;

弗朗茨·萨尔泽德 .

中国专利 :CN105408012A ,2016-03-16

[5]

用于生产多晶硅的方法 [P].

P·伯尼施 ;

P·菲拉尔 .

中国专利 :CN114026044A ,2022-02-08

[6]

生产多晶硅的方法 [P].

M·舍费尔 ;

O·克雷奇马尔 .

中国专利 :CN102381709B ,2012-03-21

[7]

生产多晶硅的方法 [P].

M·温泽伊斯 ;

P·菲拉尔 ;

T·施勒克 .

中国专利 :CN113966311A ,2022-01-21

[8]

生产多晶硅的方法 [P].

沃尔特·哈克尔 ;

卡尔·赫斯 ;

威廉·霍博尔德 ;

赖因哈德·沃尔夫 .

中国专利 :CN102432017B ,2012-05-02

[9]

生产多晶硅的方法 [P].

F·波普 ;

H·赫特莱因 .

中国专利 :CN106573783B ,2017-04-19

[10]

用于沉积多晶硅的方法 [P].

芭芭拉·米勒 ;

托马斯·科克 .

中国专利 :CN104918883A ,2015-09-16

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