用于生产多晶硅的方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201480042794.6
申请日
2014-07-10
公开(公告)号
CN105408012A
公开(公告)日
2016-03-16
发明(设计)人
约兰·克洛泽 海因茨·克劳泽 弗朗茨·萨尔泽德
申请人
申请人地址
德国慕尼黑
IPC主分类号
B01J300
IPC分类号
C01B33035
代理机构
北京康信知识产权代理有限责任公司 11240
代理人
张英;宫传芝
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
多晶硅棒和用于生产多晶硅的方法 [P]. 
米哈伊尔·索芬 ;
埃里克·多恩贝格尔 ;
赖纳·佩什 .
中国专利 :CN104010969B ,2014-08-27
[2]
用于生产多晶硅的方法 [P]. 
沃尔特·哈克尔 ;
芭芭拉·米勒 ;
罗伯特·林 .
中国专利 :CN102862987A ,2013-01-09
[3]
用于生产多晶硅的方法 [P]. 
芭芭拉·米勒 ;
沃尔特·哈克尔 ;
沃尔夫冈·施托伊贝尔 .
中国专利 :CN105579395A ,2016-05-11
[4]
用于生产多晶硅的方法 [P]. 
哈拉尔德·赫特莱因 ;
弗里德里希·波普 .
中国专利 :CN105980304A ,2016-09-28
[5]
用于生产多晶硅的方法 [P]. 
P·伯尼施 ;
P·菲拉尔 .
中国专利 :CN114026044A ,2022-02-08
[6]
生产多晶硅的方法 [P]. 
M·舍费尔 ;
O·克雷奇马尔 .
中国专利 :CN102381709B ,2012-03-21
[7]
生产多晶硅的方法 [P]. 
M·温泽伊斯 ;
P·菲拉尔 ;
T·施勒克 .
中国专利 :CN113966311A ,2022-01-21
[8]
生产多晶硅的方法 [P]. 
沃尔特·哈克尔 ;
卡尔·赫斯 ;
威廉·霍博尔德 ;
赖因哈德·沃尔夫 .
中国专利 :CN102432017B ,2012-05-02
[9]
用于沉积多晶硅的方法 [P]. 
芭芭拉·米勒 ;
托马斯·科克 .
中国专利 :CN104918883A ,2015-09-16
[10]
用于沉积多晶硅的方法 [P]. 
米哈伊尔·索芬 .
中国专利 :CN103723732A ,2014-04-16