用于沉积多晶硅的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201480005255.5

申请日：

2014-01-13

公开(公告)号：

CN104918883A

公开(公告)日：

2015-09-16

发明(设计)人：

芭芭拉·米勒托马斯·科克

申请人：

申请人地址：

德国慕尼黑

IPC主分类号：

C01B33035

IPC分类号：

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

张英;宫传芝

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-09-16	公开	公开
2021-12-24	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B 33/035 申请日:20140113 授权公告日:20170616 终止日期:20210113
2017-06-16	授权	授权

共 50 条

[1]

用于沉积多晶硅的方法 [P].

米哈伊尔·索芬 .

中国专利 :CN103723732A ,2014-04-16

[2]

沉积多晶硅的方法 [P].

K·黑塞 ;

F·施赖德尔 .

中国专利 :CN101487139B ,2009-07-22

[3]

多晶硅棒和用于生产多晶硅的方法 [P].

米哈伊尔·索芬 ;

埃里克·多恩贝格尔 ;

赖纳·佩什 .

中国专利 :CN104010969B ,2014-08-27

[4]

用于沉积多晶硅的装置和方法 [P].

米哈伊尔·索芬 .

中国专利 :CN103058196A ,2013-04-24

[5]

多晶硅沉积的方法 [P].

G·克洛泽 ;

H·克劳斯 ;

T·魏斯 .

中国专利 :CN104981428B ,2015-10-14

[6]

用于生产多晶硅的方法 [P].

沃尔特·哈克尔 ;

芭芭拉·米勒 ;

罗伯特·林 .

中国专利 :CN102862987A ,2013-01-09

[7]

用于生产多晶硅的方法 [P].

芭芭拉·米勒 ;

沃尔特·哈克尔 ;

沃尔夫冈·施托伊贝尔 .

中国专利 :CN105579395A ,2016-05-11

[8]

用于生产多晶硅的方法 [P].

哈拉尔德·赫特莱因 ;

弗里德里希·波普 .

中国专利 :CN105980304A ,2016-09-28

[9]

用于生产多晶硅的方法 [P].

约兰·克洛泽 ;

海因茨·克劳泽 ;

弗朗茨·萨尔泽德 .

中国专利 :CN105408012A ,2016-03-16

[10]

用于沉积多晶硅的反应器 [P].

T·魏斯 ;

H·克劳斯 .

中国专利 :CN107735361A ,2018-02-23

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