硅片单面制绒与边缘刻蚀用添加剂及其应用

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910511489.1
申请日
2019-06-13
公开(公告)号
CN110257072A
公开(公告)日
2019-09-20
发明(设计)人
邓雨微 王思云 马洁 张益荣
申请人
申请人地址
213300 江苏省常州市溧阳市溧城镇吴潭渡路8号
IPC主分类号
C09K1300
IPC分类号
H01L3118 H01L310236
代理机构
代理人
法律状态
发明专利申请公布后的驳回
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
硅片清洗用添加剂及其应用 [P]. 
胡聿明 ;
杨洋 ;
章圆圆 .
中国专利 :CN112080348A ,2020-12-15
[2]
硅片制绒添加剂、制绒液及其使用方法 [P]. 
高燕 ;
丁俊勇 ;
周树伟 ;
章圆圆 ;
陈培良 .
中国专利 :CN119529844A ,2025-02-28
[3]
单晶硅片制绒添加剂及应用 [P]. 
陈培良 ;
符黎明 .
中国专利 :CN106119977B ,2016-11-16
[4]
金刚线多晶硅片制绒添加剂及金刚线多晶硅片制绒刻蚀液 [P]. 
王懿喆 ;
易武雄 ;
潘鼎鼎 ;
张卫 .
中国专利 :CN110644049A ,2020-01-03
[5]
单晶硅片链式制绒用添加剂及其应用 [P]. 
周树伟 ;
张丽娟 ;
陈培良 ;
贺婷婷 .
中国专利 :CN111593412B ,2020-08-28
[6]
一种单晶硅片的制绒添加剂及其应用 [P]. 
杨二存 ;
顾生刚 ;
夏利鹏 ;
赵小平 ;
赵朋松 ;
李吉 ;
刘海金 ;
赵本定 ;
胡番 ;
林纲正 .
中国专利 :CN110396725A ,2019-11-01
[7]
单晶硅片的制绒添加剂及其应用 [P]. 
张丽娟 ;
周树伟 ;
陈培良 ;
贺婷婷 .
中国专利 :CN111139531A ,2020-05-12
[8]
一种单晶硅片无醇制绒工艺及其制绒添加剂 [P]. 
瞿辉 ;
徐春 ;
曹玉甲 ;
吕晓华 .
中国专利 :CN104576831B ,2015-04-29
[9]
一种单晶硅片碱性制绒液的无醇添加剂及其应用 [P]. 
姜翰钦 .
中国专利 :CN103361740A ,2013-10-23
[10]
一种用于金刚线切割多晶硅片的制绒添加剂及其应用 [P]. 
张占香 .
中国专利 :CN109355711A ,2019-02-19