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一种掩膜版拆膜装置
被引：0
申请号：
CN202220451316.2
申请日：
2022-03-02
公开(公告)号：
CN216979581U
公开(公告)日：
2022-07-15
发明(设计)人：
宋恺
申请人：
申请人地址：
230000 安徽省合肥市新站区谷河路与通淮路交口东北角
IPC主分类号：
G03F168
IPC分类号：
代理机构：
合肥律众知识产权代理有限公司 34147
代理人：
夏舜
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-07-15 | 授权 | 授权 |