形成互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310412208.X

申请日：

2007-10-05

公开(公告)号：

CN103560107A

公开(公告)日：

2014-02-05

发明(设计)人：

罗埃尔·达门

申请人：

申请人地址：

美国加利福尼亚

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

李敬文

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-02-05	公开	公开
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101576322744 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201310412208X 申请日:20071005
2017-07-14	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101755311541 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:201310412208X 申请公布日:20140205

共 50 条

[1]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN101523591A ,2009-09-02

[2]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

谢祥金 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

凯文·卡舍菲 ;

马克·沙丽 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 .

美国专利 :CN118824944A ,2024-10-22

[3]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

谢祥金 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

马克·沙丽 ;

凯文·卡舍菲 .

美国专利 :CN118588634A ,2024-09-03

[4]

用于形成互连结构的钝化保护的方法 [P].

任河 ;

M·B·奈克 ;

曹勇 ;

S·R·V·克萨普拉嘎达 ;

石美仪 ;

程亚娜 .

中国专利 :CN106463456A ,2017-02-22

[5]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

郭家邦 ;

蓝若琳 ;

杨竣翔 ;

高铭远 ;

林其锋 .

中国专利 :CN118431190A ,2024-08-02

[7]

互连结构及其形成方法 [P].

金书正 ;

高铭远 ;

牛振仪 ;

林彦均 ;

彭馨莹 ;

张智翔 ;

李佩璇 ;

林其锋 ;

纪志坚 ;

苏鸿文 .

中国专利 :CN114823494A ,2022-07-29

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

尼古拉斯·C.·弗勒 ;

蒂莫西·约瑟夫·达尔顿 ;

萨特扬纳拉扬纳·文卡塔·尼塔 .

中国专利 :CN101000904A ,2007-07-18

[9]

互连结构及其形成方法 [P].

张阡 ;

林彦均 ;

刘仁伟 ;

曾志翰 ;

简瑞宏 ;

翁政辉 ;

林俊杰 ;

苏鸿文 ;

蔡明兴 ;

张志维 .

中国专利 :CN118398594A ,2024-07-26

[10]

互连结构的形成方法 [P].

孔秋东 ;

简中祥 ;

杨熙 .

中国专利 :CN102751236A ,2012-10-24

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