形成互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202410478054.2

申请日：

2024-04-19

公开(公告)号：

CN118824944A

公开(公告)日：

2024-10-22

发明(设计)人：

卡利亚潘·穆图库马尔金龙珍卡门·莱尔·塞万提斯巴斯卡尔·乔蒂·布雅谢祥金迈克尔·哈维蒂凯文·卡舍菲马克·沙丽艾伦·丹格菲尔德杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯

申请人：

应用材料公司

申请人地址：

美国加利福尼亚州

IPC主分类号：

H01L21/768

IPC分类号：

代理机构：

北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006

代理人：

徐金国;吴启超

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

谢祥金 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

马克·沙丽 ;

凯文·卡舍菲 .

美国专利 :CN118588634A ,2024-09-03

[2]

互连结构及互连结构的形成方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN104299958A ,2015-01-21

[3]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN103560107A ,2014-02-05

[4]

形成互连结构的方法 [P].

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

吉蒂卡·巴贾 ;

杨逸雄 ;

赛沙德利·甘古利 ;

吐尔逊·艾丽胡玛尔 ;

约格什·夏尔马 ;

黄天逸 .

美国专利 :CN121219436A ,2025-12-26

[5]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN101523591A ,2009-09-02

[6]

金属互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

胡敏达 .

中国专利 :CN104051324A ,2014-09-17

[7]

互连结构及互连结构的制造方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN108933100A ,2018-12-04

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

拉里·克莱文格 ;

斯坦利·J·克莱佩斯 ;

陆晓玲 ;

杰弗里·R·马里诺 ;

安德鲁H·西蒙 ;

王允愈 ;

黄洸汉 ;

杨启超 .

中国专利 :CN1501471A ,2004-06-02

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[10]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

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