互连结构及互连结构的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710374681.1

申请日：

2017-05-24

公开(公告)号：

CN108933100A

公开(公告)日：

2018-12-04

发明(设计)人：

邓浩

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23498

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-30	授权	授权
2018-12-04	公开	公开
2018-12-28	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20170524

共 50 条

[1]

互连结构以及用于构建互连结构的方法 [P].

迈克尔·G·李 ;

内堀千寻 .

中国专利 :CN103548028B ,2014-01-29

[2]

互连结构及方法 [P].

P·弗里克 ;

A·科尔 ;

A·L·范布罗克林 ;

D·安德森 .

中国专利 :CN100380654C ,2005-07-27

[3]

中段互连结构及制造方法 [P].

黄玉莲 ;

傅劲逢 ;

林焕哲 .

中国专利 :CN113921462A ,2022-01-11

[4]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

谢祥金 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

凯文·卡舍菲 ;

马克·沙丽 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 .

美国专利 :CN118824944A ,2024-10-22

[5]

一种互连结构的形成方法及互连结构 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN111564407A ,2020-08-21

[6]

铜互连结构及其制造方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN102956539B ,2013-03-06

[7]

形成互连结构的方法 [P].

斯里尼瓦斯·甘迪科塔 ;

吉蒂卡·巴贾 ;

杨逸雄 ;

赛沙德利·甘古利 ;

吐尔逊·艾丽胡玛尔 ;

约格什·夏尔马 ;

黄天逸 .

美国专利 :CN121219436A ,2025-12-26

[8]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

谢祥金 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

马克·沙丽 ;

凯文·卡舍菲 .

美国专利 :CN118588634A ,2024-09-03

[9]

功率芯片互连结构及其互连方法 [P].

王腾 ;

郑静 ;

常永嘉 ;

董晓伟 .

中国专利 :CN104332458A ,2015-02-04

[10]

具有分层互连结构的桥互连 [P].

Y·刘 ;

Q·张 ;

A·E·舒克曼 ;

R·张 .

中国专利 :CN108364926A ,2018-08-03

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