互连结构以及用于构建互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280023853.6

申请日：

2012-07-23

公开(公告)号：

CN103548028B

公开(公告)日：

2014-01-29

发明(设计)人：

迈克尔·G·李内堀千寻

申请人：

申请人地址：

日本国神奈川县川崎市

IPC主分类号：

G06F1750

IPC分类号：

H01L23485

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

石海霞;郑特强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101576172142 IPC(主分类):G06F 17/50 专利申请号:2012800238536 申请日:20120723
2016-08-31	授权	授权
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G06F 17/50 申请日:20120723 授权公告日:20160831 终止日期:20200723
2014-01-29	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构及互连结构的制造方法 [P].

邓浩 .

中国专利 :CN108933100A ,2018-12-04

[2]

互连结构及方法 [P].

P·弗里克 ;

A·科尔 ;

A·L·范布罗克林 ;

D·安德森 .

中国专利 :CN100380654C ,2005-07-27

[3]

用于形成互连结构的方法 [P].

李伟健 ;

陶铮 .

:CN117476545A ,2024-01-30

[4]

一种互连结构的形成方法及互连结构 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN111564407A ,2020-08-21

[5]

功率芯片互连结构及其互连方法 [P].

王腾 ;

郑静 ;

常永嘉 ;

董晓伟 .

中国专利 :CN104332458A ,2015-02-04

[6]

具有分层互连结构的桥互连 [P].

Y·刘 ;

Q·张 ;

A·E·舒克曼 ;

R·张 .

中国专利 :CN108364926A ,2018-08-03

[7]

具有分层互连结构的桥互连 [P].

Y·刘 ;

Q·张 ;

A·E·舒克曼 ;

R·张 .

中国专利 :CN104218024A ,2014-12-17

[8]

功率芯片互连结构 [P].

王腾 ;

郑静 ;

常永嘉 ;

董晓伟 .

中国专利 :CN204204848U ,2015-03-11

[9]

铜互连结构的清洗方法 [P].

罗朝以 ;

许力恒 ;

夏汇哲 ;

李松 .

中国专利 :CN113506722A ,2021-10-15

[10]

用于堆叠式器件的互连结构 [P].

蔡纾婷 ;

林政贤 ;

杨敦年 ;

刘人诚 ;

洪丰基 ;

黄志辉 ;

陈升照 ;

周世培 ;

林佳洁 .

中国专利 :CN104051419B ,2014-09-17

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