共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
用于形成互连结构的方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202310927625.1
申请日：
2023-07-26
公开(公告)号：
CN117476545A
公开(公告)日：
2024-01-30
发明(设计)人：
李伟健
陶铮
申请人：
IMEC非营利协会
申请人地址：
比利时勒芬
IPC主分类号：
H01L21/768
IPC分类号：
H01L21/3213
代理机构：
上海专利商标事务所有限公司 31100
代理人：
蔡悦;杨洁
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2025-08-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效IPC(主分类):H01L 21/768申请日:20230726 |
| 2024-01-30 | 公开 | 公开 |