用于形成双镶嵌互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201980000175.3

申请日：

2019-01-02

公开(公告)号：

CN109804463A

公开(公告)日：

2019-05-24

发明(设计)人：

许健肖亮董金文严孟肖莉红

申请人：

申请人地址：

430074 湖北省武汉市东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L21311

代理机构：

北京永新同创知识产权代理有限公司 11376

代理人：

林锦辉

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	授权	授权
2019-05-24	公开	公开
2019-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/768 申请日:20190102

共 50 条

[1]

用于形成互连结构的方法 [P].

李伟健 ;

陶铮 .

:CN117476545A ,2024-01-30

[2]

形成双镶嵌结构的方法 [P].

何其旸 ;

张翼英 .

中国专利 :CN102800623A ,2012-11-28

[3]

形成双镶嵌结构的方法 [P].

李世达 .

中国专利 :CN1279603C ,2004-02-18

[4]

形成互连结构的方法 [P].

张海洋 ;

王新鹏 .

中国专利 :CN102148185A ,2011-08-10

[5]

形成互连结构的方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104752326A ,2015-07-01

[6]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN103560107A ,2014-02-05

[7]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

谢祥金 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

凯文·卡舍菲 ;

马克·沙丽 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 .

美国专利 :CN118824944A ,2024-10-22

[8]

形成互连结构的方法 [P].

卡利亚潘·穆图库马尔 ;

巴斯卡尔·乔蒂·布雅 ;

金龙珍 ;

卡门·莱尔·塞万提斯 ;

谢祥金 ;

杰苏斯·坎德拉里奥·门多萨-古铁雷斯 ;

艾伦·丹格菲尔德 ;

迈克尔·哈维蒂 ;

马克·沙丽 ;

凯文·卡舍菲 .

美国专利 :CN118588634A ,2024-09-03

[9]

形成互连结构的方法 [P].

罗埃尔·达门 .

中国专利 :CN101523591A ,2009-09-02

[10]

用于形成自对准互连结构的方法 [P].

刘如淦 ;

张世明 ;

伍海涛 .

中国专利 :CN112309963A ,2021-02-02

← 1 2 3 4 5 →