形成互连结构的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310745769.1

申请日：

2013-12-30

公开(公告)号：

CN104752326A

公开(公告)日：

2015-07-01

发明(设计)人：

张海洋任佳

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

代理机构：

北京集佳知识产权代理有限公司 11227

代理人：

骆苏华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-09-07	授权	授权
2015-07-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101618648706 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013107457691 申请日:20131230
2015-07-01	公开	公开

共 50 条

[1]

互连结构的形成方法 [P].

王新鹏 ;

卜伟海 .

中国专利 :CN104752327A ,2015-07-01

[2]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

[3]

形成互连结构的方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN104979273B ,2015-10-14

[4]

形成互连结构的方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105140173B ,2015-12-09

[5]

形成互连结构的方法及互连结构 [P].

J·A·奥特 ;

A·A·伯尔 .

中国专利 :CN103579097A ,2014-02-12

[6]

互连结构及其形成方法 [P].

金吉松 .

中国专利 :CN114068451A ,2022-02-18

[7]

互连结构形成方法 [P].

周鸣 ;

何永根 .

中国专利 :CN102751233A ,2012-10-24

[8]

互连结构及其形成方法 [P].

周鸣 .

中国专利 :CN105826237A ,2016-08-03

[9]

互连结构的形成方法 [P].

张海洋 ;

张城龙 .

中国专利 :CN104217991A ,2014-12-17

[10]

互连结构的形成方法 [P].

陈宏 .

中国专利 :CN113725151A ,2021-11-30

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