形成互连结构的方法及互连结构

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310300339.9

申请日：

2013-07-17

公开(公告)号：

CN103579097A

公开(公告)日：

2014-02-12

发明(设计)人：

J·A·奥特 A·A·伯尔

申请人：

申请人地址：

美国纽约

IPC主分类号：

H01L21768

IPC分类号：

H01L23532

代理机构：

北京市中咨律师事务所 11247

代理人：

贺月娇;于静

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101578341220 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013103003399 申请日:20130717
2014-02-12	公开	公开
2016-07-20	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101735695915 IPC(主分类):H01L 21/768 专利申请号:2013103003399 申请公布日:20140212

共 50 条

[1]

互连结构 [P].

李书玮 ;

詹佑晨 ;

杨士亿 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN115566000A ,2023-01-03

[2]

互连结构 [P].

李劭宽 ;

李承晋 ;

蔡承孝 ;

杨光玮 ;

黄心岩 ;

张孝慷 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN115566001A ,2023-01-03

[3]

互连结构 [P].

杨士亿 ;

骆冠宇 ;

锺进龙 ;

李明翰 ;

眭晓林 .

中国专利 :CN112420664A ,2021-02-26

[4]

形成互连结构的方法 [P].

张海洋 ;

任佳 .

中国专利 :CN104752326A ,2015-07-01

[5]

形成互连结构的方法 [P].

V·普拉亚斯 ;

周俭 ;

K·欧哈马 .

美国专利 :CN119816937A ,2025-04-11

[6]

互连结构的形成方法 [P].

韩秋华 .

中国专利 :CN104347488B ,2015-02-11

[7]

互连结构的形成方法 [P].

倪百兵 .

中国专利 :CN104124203B ,2014-10-29

[8]

互连结构的形成方法 [P].

周鸣 ;

李小雨 .

中国专利 :CN106783727B ,2017-05-31

[9]

互连结构的形成方法 [P].

聂佳相 ;

刘盛 ;

杨瑞鹏 ;

孔祥涛 .

中国专利 :CN102054750A ,2011-05-11

[10]

互连结构的形成方法 [P].

张城龙 ;

张海洋 .

中国专利 :CN105226006A ,2016-01-06

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